ITO激光蚀刻机

序 号

项   次

说   明

1

单一场镜加工幅面

120*120mm

170*170mm

2

单次加工范围

120*220mm（双振镜同时加工）

170*320mm（双振镜同时加工）

3

刻蚀线宽线距

25um±5um（视加工材料）

35um±5um（视加工材料）

4

平台有效加工幅面

800mm*600mm（可定制）

5

对焦方式

电动调焦

6

综合定位精度

±10um

7

XY重复定位精度

±2um

8

XY运动速度

≤500mm/s

9

振镜加工速度

≤3000 mm/s （视具体材料而定）

10

拼接精度

≤10um(拼接点可依需求设定)

≤5um(拼接点可依需求设定)

11

加工定位方式

自动使用CCD定位系统进行自动定位与图案调整加工

12

排烟方式

独立设计排烟系统，确保安全生产环境

13

加工工件

PET基材上的银浆、ITO、纳米银、石墨烯等